申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

申请日：2019-03-15

公开（公告）日：2022-05-31

公开（公告）号：CN111378935B

主分类号：C23C14/32

分类号：C23C14/32;C23C14/16;C23C14/58

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.31#授权;2020.07.31#实质审查的生效;2020.07.07#公开

摘要：本发明公开一种AlNiCrAlYAl2O3复合涂层，包括Al层，以及依次形成于Al层上的NiCrAlY层及Al2O3涂层。本发明还公开一种AlNiCrAlYAl2O3复合涂层的制备方法，包括：采用多弧离子镀技术在工件上依次沉积Al层和NiCrAlY层，形成AlNiCrAlY层；通过热处理在所述AlNiCrAlY层表面形成Al2O3涂层，从而得到所述AlNiCrAlYAl2O3复合涂层。本发明制备的AlNiCrAlYAl2O3复合涂层，具有优异的抗高温氧化、耐湿热和耐盐雾性能，适合应用于高温和海洋环境关键部件的表面防护。且其制备方法简单易行，具有很好的应用前景。

主权项：1.一种AlNiCrAlYAl2O3复合涂层的制备方法，其特征在于，包括：采用多弧离子镀技术在工件上交替沉积Al层和NiCrAlY层，形成AlNiCrAlY层，其中Al层和NiCrAlY层形成层叠结构；通过热处理在所述AlNiCrAlY层表面形成Al2O3涂层，从而得到所述AlNiCrAlYAl2O3复合涂层；其中，沉积Al层所采用的工艺条件包括：靶材选用Al靶，Al靶的靶电流为30A～40A，负偏压为15V～25V，温度为150℃～180℃，工作气体为氩气，氩气流量400sccm～600sccm，沉积时间为10min～15min；沉积NiCrAlY层所采用的工艺条件包括：靶材选用NiCrAlY靶材，靶电流为50A~60A，负偏压为50V~100V，温度为180℃～210℃，工作气体为氩气，氩气流量300sccm～400sccm，沉积时间为60min～180min；所述NiCrAlY靶材的成分包括按质量百分数计算的50wt.%~65wt.%的Ni、20wt.%~30wt.%的Cr、10wt.%~15wt.%的Al和0.5wt.%~1.5wt.%的Y；所述的热处理包括：将表面形成有AlNiCrAlY层的工件在真空条件下的管式炉腔体中加热至200℃~600℃保温2h~3h，冷却至室温后将工件放置于马弗炉中加热至400℃~1100℃保温2h~100h，之后冷却5min~20min，从而在AlNiCrAlY层表面形成Al2O3涂层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 Al/NiCrAlY/Al₂O₃复合涂层、其制备方法及应用

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