申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2020-12-14

公开（公告）日：2022-06-07

公开（公告）号：CN112635279B

主分类号：H01J37/317

分类号：H01J37/317;H01J37/06;H01J37/147;H01J37/244

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.07#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本申请公开了一种PFG电子喷淋系统，涉及半导体制造领域。该PFG电子喷淋系统包括电子扫描组件、PFG腔；电子扫描组件包括电子发生器和电子扫描器，电子发生器位于PFG腔的上方，电子扫描器位于电子发生器的发射口的下方，电子扫描器用于扫描电子发生器发射的电子并令电子均匀喷淋；电子扫描器连接变频电压；电子扫描器由2块二级板组成，每块二级板由上板和下板连接构成，上板垂直设置在电子发生器的下方，下板与上板之间的夹角大于90°；2块二级板中的上板平行，2块二级板中的下板之间的距离大于上板之间的距离；解决了目前高电流离子注入机的电子喷淋系统容易造成离子注入均匀性较差的问题；达到了提高离子注入的均匀性的效。

主权项：1.一种PFG电子喷淋系统，其特征在于，所述系统包括电子扫描组件、PFG腔；电子扫描组件包括电子发生器和电子扫描器，所述电子发生器位于所述PFG腔的上方，所述电子扫描器位于所述电子发生器的发射口的下方，所述电子扫描器用于扫描所述电子发生器发射的电子，并令所述电子均匀喷淋；所述电子扫描器连接变频电压；所述电子扫描器由2块二级板组成，每块二级板由上板和下板连接构成，上板垂直设置在所述电子发生器的下方，下板与所述上板之间的夹角大于90°；在所述电子扫描器中，2块二级板中的上板平行，2块二级板中的下板之间的距离大于上板之间的距离；所述2块二级板中的上板分别位于所述电子发生器的发射口的两侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 PFG电子喷淋系统

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