申请/专利权人：森松(江苏)重工有限公司

申请日：2022-08-01

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115072681A

主分类号：C01B25/10

分类号：C01B25/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.14#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明提供一种五氟化磷气体发生器和五氟化磷气体发生方法，其发生器筒体的上筒体上设置有2个用于将液态氟化氢加入至发生器筒体内的液体物料加入器，发生器筒体的下筒体，具有沿下筒体内壁设置的液态氟化氢渗透夹套，该液态氟化氢渗透夹套，具有用于承载和接触所述发生器筒体内的五氯化磷固体物料的隔离滤板，通过液态氟化氢供给装置供给来的液态氟化氢，通过隔离滤板渗透到发生器筒体内，与五氯化磷固体物料进行反应。采用五氟化磷气体发生器及五氟化磷气体发生方法，可以让参与反应的液态氟化氢能充分与反应对象的五氯化磷固体物料接触反应，从而提高五氟化磷气体的发生效率。

主权项：1.一种五氟化磷气体发生器，包括：由上筒体和下筒体构成的发生器筒体、设置在该发生器筒体内的搅拌装置、液态氟化氢供给装置以及与该发生器筒体连通的将五氟化磷气体输送至下一工序装置的气体输送管路，其特征在于，所述上筒体上设置有用于将液态氟化氢加入至发生器筒体内的液体物料加入器，各所述液体物料加入器通过液态氟化氢供给管路与所述液态氟化氢供给装置相连；所述下筒体，具有沿下筒体内壁设置的液态氟化氢渗透夹套，该液态氟化氢渗透夹套，具有用于承载和接触所述发生器筒体内的五氯化磷固体物料的隔离滤板，该液态氟化氢渗透夹套通过液态氟化氢供给管路与所述液态氟化氢供给装置相连；通过所述液态氟化氢供给装置供给到所述液态氟化氢渗透夹套的液态氟化氢，通过隔离滤板渗透到所述发生器筒体内，与所述发生器筒体内的五氯化磷固体物料进行反应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 森松(江苏)重工有限公司 一种五氟化磷气体发生器和五氟化磷气体发生方法

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