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【发明公布】接合系统_东京毅力科创株式会社_202180026341.4 

申请/专利权人:东京毅力科创株式会社

申请日:2021-03-30

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN115428121A

主分类号:H01L21/02

分类号:H01L21/02;H01L21/677

优先权:["20200413 JP 2020-071650"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.12.02#公开

摘要:第1输送装置22和第2输送装置32在常压气氛下输送第1基板W1和第2基板W2。第3输送装置34在减压气氛下输送第1基板W1和第2基板W2。加载互锁室31d具有能够收纳第1基板W1和第2基板W2的收纳部311、312,并能够将收纳部311、312在常压气氛与减压气氛之间切换。多个闸门101~104分别设于加载互锁室31d的不同的三个侧面,并能够开闭加载互锁室31d。另外,第1输送装置22、第2输送装置32以及第3输送装置34经由多个闸门101~104中的各不相同的闸门101~104来相对于加载互锁室31d进行第1基板W1和第2基板W2的送入送出。

主权项:1.一种接合系统,其利用分子间力将第1基板和第2基板接合而形成重合基板,其中,该接合系统具备:第1输送装置和第2输送装置,其在常压气氛下输送所述第1基板和所述第2基板;第3输送装置,其在减压气氛下输送所述第1基板和所述第2基板;加载互锁室,其具有能够收纳所述第1基板和所述第2基板的收纳部,并能够将所述收纳部在所述常压气氛与所述减压气氛之间切换;以及多个闸门,其分别设于所述加载互锁室的不同的三个侧面,并能够开闭所述加载互锁室,所述第1输送装置、所述第2输送装置以及所述第3输送装置经由所述多个闸门中的各不相同的闸门来相对于所述加载互锁室进行所述第1基板和所述第2基板的送入送出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东京毅力科创株式会社 接合系统

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