申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2022-07-08

公开（公告）日：2023-01-13

公开（公告）号：CN115598931A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20210708 JP 2021-113751"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.28#实质审查的生效;2023.01.13#公开

摘要：公开了处理装置、管理装置、光刻装置和物品制造方法。一种处理装置包括：被配置成驱动控制对象的驱动器，以及被配置成通过基于控制误差生成对驱动器的命令值来控制驱动器的控制器。控制器包括：被配置成基于控制误差来生成第一命令值的第一补偿器，被配置成基于控制误差来生成第二命令值的第二补偿器，以及被配置成通过将第一命令值和第二命令值相加来获得命令值的加法器。第二补偿器包括通过学习为其决定参数值的神经网络，并且被输入到神经网络的输入参数除了控制误差之外还包括驱动器的驱动条件和控制对象的周围的环境条件中的至少一个。

主权项：1.一种处理装置，其特征在于，包括：驱动器，被配置成驱动控制对象；以及控制器，被配置成通过基于控制误差生成对驱动器的命令值来控制驱动器，其中，控制器包括：第一补偿器，被配置成基于控制误差来生成第一命令值，第二补偿器，被配置成基于控制误差来生成第二命令值，以及加法器，被配置成通过将第一命令值和第二命令值相加来获得命令值，第二补偿器包括通过学习为其决定参数值的神经网络，并且被输入到神经网络的输入参数除了控制误差之外还包括驱动器的驱动条件和控制对象的周围的环境条件中的至少一个。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 处理装置、管理装置、光刻装置和物品制造方法

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