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【发明授权】阵列基板及显示面板_深圳市华星光电半导体显示技术有限公司_202110972622.0 

申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日:2021-08-24

公开(公告)日:2023-01-24

公开(公告)号:CN113782545B

主分类号:H01L27/12

分类号:H01L27/12;H01L23/544;G02F1/1333;G03F9/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.01.24#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开

摘要:本申请公开了一种阵列基板及显示面板,本申请的阵列基板包括金属层以及与所述金属层同层设置的对位标记,所述对位标记包括标记本体、以及形成在所述标记本体上的至少一分割间隙,其中所述分割间隙将所述标记本体分割为多个子部。本申请的阵列基板及显示面板能防止对位标记上的光刻胶剥离,进而能防止上述光刻影响到薄膜晶体管的沟道区的蚀刻从而导致产品报废,最终能提升产品良率。

主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,包括:金属层;以及对位标记,所述对位标记与所述金属层同层设置,所述对位标记结构包括标记本体、以及形成在所述标记本体上的至少一分割间隙,所述分割间隙将所述标记本体分割为多个子部;所述分割间隙位于所述标记本体的相对设置的两个侧边之间,并由所述两个侧边中的其中一个延伸所述两个侧边中的另一个;其中,所述分割间隙包括第二分割间隙,所述第二分割间隙的间隙宽度为1μm-4μm。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 阵列基板及显示面板

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