申请/专利权人：沈阳乐贝真空技术有限公司

申请日：2022-11-24

公开（公告）日：2023-03-07

公开（公告）号：CN115747727A

主分类号：C23C14/32

分类号：C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.24#实质审查的生效;2023.03.07#公开

摘要：本发明属于合金铣刀片的制备领域，具体涉及一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，具体步骤包括沉积技术的确认、靶材的确定、合金铣刀片的选择与前处理过程、合金铣刀片的放置和镀膜工艺的确定，镀膜过程为先进行基体离子清洗，然后在离子刻蚀后的合金铣刀片基体上依次沉积TiAlN膜层、TiAlZrN过渡层和ZrN膜层，通过该方法制备的合金铣刀片高温稳定性强、结合力好，具有2300‑2400HV的超高硬度，可以在950‑1100℃下进行高温切削，涂层有效地减少了积削瘤粘连问题，提高刀片使用寿命。

主权项：1.一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：步骤1沉积技术的确认：采用多弧离子镀技术来镀覆TiAlZrN纳米复合涂层合金铣刀片；步骤2靶材的确定：采用12个靶材作为阴极弧源靶，包括8个TiAl合金靶和4个Zr合金靶，将12个靶材分别置于镀膜室壁上相应的弧源位置，靶材纯度均达到99.95％，镀膜过程中根据工艺启动合金靶；步骤3合金铣刀片的选择与前处理过程：选择合金铣刀片作为镀膜基体，放在镀膜室进行镀膜操作前，使用金属清洗剂对合金铣刀片进行超声波去油、去污处理，然后90℃烘干以备后续沉积涂层，得到洁净的基体；步骤4合金铣刀片的放置：采用刀片自转的旋转方式，合金铣刀片含刀片隔珠间距为8-16mm，合金铣刀片所在挂具杆上下空余不超过35mm；步骤5镀膜：首先进行基体离子清洗，然后在离子刻蚀后的合金铣刀片基体上依次沉积TiAlN膜层、TiAlZrN过渡层和ZrN膜层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈阳乐贝真空技术有限公司 一种TiAlZrN纳米复合涂层镀覆合金铣刀片的制备方法

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