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申请/专利权人：大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日：2021-07-09
公开（公告）日：2023-03-14
公开（公告）号：CN115803844A
主分类号：H01J37/252
分类号：H01J37/252
优先权：["20200709 JP 2020-118687"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开
摘要：本发明提供一种静电偏转会聚型能量分析仪，其具有宽的接收角和高的二维会聚性能，可以对二维的实空间图像或发射角度分布进行成像，并能够在相对于入射方向的90°偏转下进行二维会聚和成像。一个或多个外侧电极和多个内侧电极沿着在共同旋转轴的内侧和外侧上形成的两个旋转体的形状色设置。其中，外侧电极的内表面形状是朝向两端直径变小的锥形，内侧电极的外表面形状是朝向两端直径变小的锥形。在旋转轴两端的外侧电极上分别形成有电子的入射孔和出射孔。将用于电子加速和减速的电压与入射电子的能量成比例地施加在外侧电极和内侧电极上。对除了两端的内侧电极以外的一个或多个电极施加电压，该电压是基于形成有入射孔的外侧电极的电势为基准，将电子的能量换算成加速电压得到的换算加速电压2倍以上的电压。
主权项：1.一种静电偏转会聚型能量分析仪，其特征在于：具备一个或多个外侧电极和多个内侧电极，沿着形成在共同旋转轴的内侧和外侧的两个旋转体的形状设置；在所述旋转轴两端的所述外侧电极上形成电子入射孔和出射孔；电压施加单元，用于向所述外侧电极和所述内侧电极施加使电子加速和减速的电压；其中，所述外侧电极的内表面形状是朝向所述入射孔直径变小的形状、朝向所述出射孔直径变小的形状，所述内侧电极的外表面形状是朝向所述入射孔直径变小的形状、朝向所述入射孔延伸的棒状，或者在所述入射孔侧的端部直径变大的形状，并且所述出射孔直径变小的形状、朝向所述出射孔延伸的棒状、或者朝向所述出射孔侧端部直径变大的形状；其中，所述电压施加单元，是指被施加到除了两端的所述内侧电极以外的内侧电极的电压，并且所述电压是基于形成有所述入射孔的所述外侧电极的电势，将电子的能量换算成加速电压得到的换算加速电压的2倍以上的电压；其中，以中心轨道与所述旋转轴成为指定入射角对各电极施加电压，使从所述入射孔入射的电子以中心轨道与所述旋转轴以指定出射角会聚到所述出射孔的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 静电偏转会聚型能量分析仪、成像型电子光谱装置、反射成像型电子光谱装置以及自旋矢量分布成像装置
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