申请/专利权人：株式会社维纳科斯

申请日：2021-06-15

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115803608A

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88

优先权：["20200811 JP 2020-135738"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：由受光元件阵列光电二极管阵列的至少一个受光元件构成的一像素单位与光源一对一地对应，仅在光源发光时，由与该光源对应的至少一个受光元件一像素单位检测光束。照明光学系统包含导光单元，该导光单元使从多个光源射出的各光束的光轴的间隔在该多个光源的排列方向上缩小而向检查对象物引导各光束。

主权项：1.一种异物缺陷检查装置，其特征在于，所述异物缺陷检查装置具备：照明光学系统，其包含光扫描单元，该光扫描单元扫描对从呈线状地分隔排列的多个光源向具有光散射性的检查对象物中的至少一个以上的检查面射出的光进行准直而得到的光束、或对准直后的光束进一步进行大致聚光而得到的光束；受光光学系统，其以所述光源和由至少一个受光元件构成的一像素单位一对一地对应的方式与所述照明光学系统的扫描方向平行地配置，该受光光学系统包含多个受光元件，透射所述检查对象物的检查面后的所述光束照射到位于该检查对象物的异物或缺陷，所述多个受光元件接收来自该异物或缺陷的散射光、扩散光、或者被吸收扩散反射、被透射扩散的具有强弱的光；以及检测单元，其仅利用对应的受光元件检测来自所述照明光学系统的主扫描方向的任意位置处的所述光源的光束，由所述至少一个受光元件构成的一像素单位的空间分辨率为检查对象物的检查面上的由照明光学系统形成的所述光束的空间分辨率以上，所述照明光学系统包含导光单元，该导光单元使从所述多个光源射出的各光束的光轴的间隔在该多个光源的排列方向上缩小而向检查对象物引导各光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社维纳科斯 异物/缺陷检查装置、异物/缺陷检查中的图像生成装置以及异物/缺陷检查方法

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