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【发明授权】真空处理装置、伪基板装置_株式会社爱发科_201980007096.5 

申请/专利权人:株式会社爱发科

申请日:2019-06-07

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN111492088B

主分类号:C23C14/00

分类号:C23C14/00;C23C14/34;H01L21/677

优先权:["20180615 JP 2018-114862"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.14#授权;2020.08.28#实质审查的生效;2020.08.04#公开

摘要:除去真空处理装置中的真空氛围中的灰尘。在真空处理装置(2)的搬运室(10)设置储藏室(12),在储藏室(12)内配置伪基板装置(20),借助带电装置(18)使伪基板装置(20)的捕集体(28)带电,向真空处理室(13a~13d)的内部搬入。各真空处理室(13a~13d)的内部的灰尘由于静电力而被吸附于被搬入的伪基板装置(20)的捕集体(2)。灰尘被捕集的伪基板装置(20)向大气氛围中取出,拆下捕集体(28)来洗涤,使伪基板装置(20)再生。

主权项:1.一种真空处理装置,前述真空处理装置具有使搬运对象物在真空氛围中移动的基板搬运机器人、供前述搬运对象物搬入的真空处理室,其特征在于,具有伪基板装置和带电装置,前述伪基板装置具有托盘和配置于前述托盘的捕集体,前述托盘形成有一个至多个贯通孔,前述伪基板装置为不超过前述基板搬运机器人的可搬重量的重量,前述带电装置使前述捕集体带电,前述捕集体是金属片,在前述托盘配置有将前述金属片能够拆装地固定于前述托盘的固定部,前述固定部具有至少一方为永久磁铁而借助磁力互相吸引的第一、第二吸引部件,前述第一、第二吸引部件中的一方设置于前述托盘,另一方配置于前述金属片上,前述第一、第二吸引部件将前述金属片夹于其间地被互相吸引,玻璃基板和前述伪基板装置包含于前述搬运对象物,前述捕集体的正面在前述托盘上露出,并且前述捕集体的背面向前述贯通孔的底面露出,借助前述伪基板装置的前述捕集体捕集前述真空处理室内的灰尘。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社爱发科 真空处理装置、伪基板装置

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