申请/专利权人:三星电机株式会社
申请日:2022-05-31
公开(公告)日:2023-03-17
公开(公告)号:CN115811295A
主分类号:H03H9/17
分类号:H03H9/17;H03H9/02
优先权:["20210913 KR 10-2021-0121719"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.04.04#实质审查的生效;2023.03.17#公开
摘要:本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;保护层;以及谐振部,包括压电层、第一电极和第二电极,所述第一电极设置在所述压电层与所述基板之间,所述第二电极设置在所述压电层与所述保护层之间。所述保护层覆盖反射部和所述谐振部的中央部,所述反射部围绕所述中央部并且形成在所述第二电极的上表面相对于所述中央部升高的区域中。所述保护层的覆盖所述反射部的部分的上表面比所述第二电极在所述反射部中的部分的上表面更平缓地倾斜。
主权项:1.一种体声波谐振器,包括:基板;保护层;以及谐振部,包括压电层、第一电极和第二电极,所述第一电极设置在所述压电层与所述基板之间,所述第二电极设置在所述压电层与所述保护层之间,其中,所述保护层覆盖所述谐振部的中央部和反射部,所述反射部围绕所述中央部并且形成在所述第二电极的上表面相对于所述中央部升高的区域中,并且其中,所述保护层的覆盖所述反射部的部分的上表面比所述第二电极在所述反射部中的部分的上表面更平缓地倾斜。
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