首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明授权】蚀刻液及其应用_光华科学技术研究院(广东)有限公司;广东光华科技股份有限公司;广东东硕科技有限公司_202110483901.0 

申请/专利权人:光华科学技术研究院(广东)有限公司;广东光华科技股份有限公司;广东东硕科技有限公司

申请日:2021-04-30

公开(公告)日:2023-03-17

公开(公告)号:CN113265660B

主分类号:C23F1/28

分类号:C23F1/28;C23F1/30

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.17#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.08.17#公开

摘要:本发明涉及一种蚀刻液及其应用,该蚀刻液包括水、氯化物、无机酸、有机酸和氧化剂;氯化物选自氯化钠、氯化钾、氯化铜、氯化铵和氯化氢中的至少一种;无机酸选自硝酸、硫酸、磷酸和高氯酸中的至少一种;有机酸选自亚氨基二乙酸、甲酸、乙酸、丁酸、柠檬酸、异柠檬酸、草酸和丙二酸中的至少一种;氧化剂选自双氧水、过硫酸钠、过硫酸铵、过硫酸钾、硝酸铈铵、硝酸铈钠、硝酸铈钾、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种;氯化物:无机酸:氧化剂的摩尔比为55~70:30~50:1。该蚀刻液能快速蚀刻镍、铬或镍铬合金,对铜的蚀刻作用小,满足目前柔性印制电路板和集成电路中制作精细线路的制程要求,且安全可靠。

主权项:1.一种镍铬金属蚀刻液,其特征在于,包括:水、氯化物、无机酸、有机酸和氧化剂;所述氯化物选自氯化钠、氯化钾、氯化铜、氯化铵和氯化氢中的至少一种;所述无机酸选自硝酸、硫酸、磷酸和高氯酸中的至少一种;所述有机酸选自亚氨基二乙酸、甲酸、乙酸、丁酸、柠檬酸、异柠檬酸、草酸和丙二酸中的至少一种;所述氧化剂选自双氧水、过硫酸钠、过硫酸铵、过硫酸钾、硝酸铈铵、硝酸铈钠、硝酸铈钾、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种;所述氯化物:无机酸:氧化剂的摩尔比为55~70:30~50:1;所述有机酸:氧化剂的摩尔比为10~35:1。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 光华科学技术研究院(广东)有限公司;广东光华科技股份有限公司;广东东硕科技有限公司 蚀刻液及其应用

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。