申请/专利权人：光华科学技术研究院(广东)有限公司;广东光华科技股份有限公司;广东东硕科技有限公司

申请日：2021-04-30

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN113265660B

主分类号：C23F1/28

分类号：C23F1/28;C23F1/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权;2021.09.03#实质审查的生效;2021.08.17#公开

摘要：本发明涉及一种蚀刻液及其应用，该蚀刻液包括水、氯化物、无机酸、有机酸和氧化剂；氯化物选自氯化钠、氯化钾、氯化铜、氯化铵和氯化氢中的至少一种；无机酸选自硝酸、硫酸、磷酸和高氯酸中的至少一种；有机酸选自亚氨基二乙酸、甲酸、乙酸、丁酸、柠檬酸、异柠檬酸、草酸和丙二酸中的至少一种；氧化剂选自双氧水、过硫酸钠、过硫酸铵、过硫酸钾、硝酸铈铵、硝酸铈钠、硝酸铈钾、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种；氯化物：无机酸：氧化剂的摩尔比为55～70：30～50：1。该蚀刻液能快速蚀刻镍、铬或镍铬合金，对铜的蚀刻作用小，满足目前柔性印制电路板和集成电路中制作精细线路的制程要求，且安全可靠。

主权项：1.一种镍铬金属蚀刻液，其特征在于，包括：水、氯化物、无机酸、有机酸和氧化剂；所述氯化物选自氯化钠、氯化钾、氯化铜、氯化铵和氯化氢中的至少一种；所述无机酸选自硝酸、硫酸、磷酸和高氯酸中的至少一种；所述有机酸选自亚氨基二乙酸、甲酸、乙酸、丁酸、柠檬酸、异柠檬酸、草酸和丙二酸中的至少一种；所述氧化剂选自双氧水、过硫酸钠、过硫酸铵、过硫酸钾、硝酸铈铵、硝酸铈钠、硝酸铈钾、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种；所述氯化物：无机酸：氧化剂的摩尔比为55～70：30～50：1；所述有机酸：氧化剂的摩尔比为10～35：1。

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权利要求：

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