申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2022-12-15

公开（公告）日：2023-05-02

公开（公告）号：CN116041047A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.05.19#实质审查的生效;2023.05.02#公开

摘要：本发明属于半导体材料制备技术领域，公开了一种溅镀用IZO掺杂靶材及其制备方法。所述IZO掺杂靶材由氧化铟、氧化锌和掺杂氧化物组成；所述IZO掺杂靶材中Zn与In的原子比为ZnZn+In＝0.1％～7％；所述掺杂氧化物为氧化钽、氧化铈、氧化钛、氧化锗或氧化镓。所述制备方法为：将氧化铟粉末、氧化锌粉末、掺杂氧化物粉末与水、分散剂和粘结剂混合制浆，得到浆料；将所得浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉末，然后经过干压和冷等静压后，进行常压烧结，得到所述溅镀用IZO掺杂靶材。本发明IZO掺杂靶材具有较低的ZnO加入量，且掺杂元素具有更多的选择，同时能够达到较高的致密度和导电性。

主权项：1.一种溅镀用IZO掺杂靶材，其特征在于，由氧化铟、氧化锌和掺杂氧化物组成；所述IZO掺杂靶材中Zn与In的原子比为ZnZn+In＝0.1％～7％；所述掺杂氧化物为氧化钽、氧化铈、氧化钛、氧化锗或氧化镓。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种溅镀用IZO掺杂靶材及其制备方法

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