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【发明公布】臭氧产生装置_住友精密工业株式会社_202180058559.8 

申请/专利权人:住友精密工业株式会社

申请日:2021-04-26

公开(公告)日:2023-05-23

公开(公告)号:CN116157354A

主分类号:C01B13/11

分类号:C01B13/11

优先权:["20200804 JP 2020-132350"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2023.05.23#公开

摘要:控制装置具有存储部,该存储部根据臭氧产生部中的不同的气体流量,存储表示电源输出和与电源输出对应的臭氧浓度之间的关系的两个以上的函数。控制装置根据臭氧产生部的设定臭氧浓度、表示臭氧产生部的气体流量的指标、检测臭氧浓度以及多个所述函数,来求出与设定臭氧浓度对应的第一电源输出和与检测臭氧浓度对应的第二电源输出,根据第一电源输出和第二电源输出之差,来执行控制电源输出的反馈控制。

主权项:1.一种臭氧产生装置,包括电源部、和根据该电源部的电源输出而生成臭氧气体的臭氧产生部,其特征在于:所述臭氧产生装置包括浓度检测部和控制装置,所述浓度检测部将臭氧产生部所生成的臭氧气体中的臭氧浓度作为检测臭氧浓度进行检测,所述控制装置具有存储部,该存储部根据臭氧产生部中的不同的气体流量,存储表示所述电源输出和与该电源输出对应的臭氧浓度之间的关系的两个以上的函数,并且,所述控制装置执行反馈控制,在所述反馈控制中,根据臭氧产生部的设定臭氧浓度、表示所述臭氧产生部的气体流量的指标、所述检测臭氧浓度以及多个所述函数,来求出与所述设定臭氧浓度对应的第一电源输出和与所述检测臭氧浓度对应的第二电源输出,根据该第一电源输出和所述第二电源输出之差,来控制所述电源输出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 住友精密工业株式会社 臭氧产生装置

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