申请/专利权人：昆山东威科技股份有限公司

申请日：2023-02-27

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116145215A

主分类号：C25D17/00

分类号：C25D17/00;C25D17/08;C25D21/10;C25D7/12

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.08.29#发明专利申请公布后的视为撤回;2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本发明涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种电镀池飞靶组件及电镀装置。该电镀池飞靶组件主要包括支架、第一连接板、第二连接板和固定轴。其中，支架的下端面设置有滚轮，滚轮被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动。第一连接板和第二连接板设置在支架上。固定轴的一端与第一连接板连接，固定轴的另一端与第二连接板连接；固定轴上等间隔地设置有多个安装位，安装位用于安装电镀夹具。该电镀池飞靶组件，稳定性和可靠性高，能够提高生产效率，提高电镀装置的产能，节约成本。

主权项：1.电镀池飞靶组件，其特征在于，包括：支架100，所述支架100的下端面设置有滚轮110，所述滚轮110被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动；第一连接板200和第二连接板300，所述第一连接板200和所述第二连接板300设置在所述支架100上；固定轴400，所述固定轴400的一端与所述第一连接板200连接，所述固定轴400的另一端与所述第二连接板300连接；所述固定轴400上等间隔地设置有多个安装位，所述安装位用于安装电镀夹具500。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山东威科技股份有限公司 电镀池飞靶组件及电镀装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD