申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2023-03-08

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN116159731A

主分类号：B06B1/06

分类号：B06B1/06;G01N29/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要：本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及超声探测系统，该压电微机械超声波换能器包括形成于衬底上的PMUT阵元，所述PMUT阵元至少用于发送和接收第一频率超声波及第二频率超声波，其中，所述第一频率超声波的频率小于所述第二频率超声波的频率。该压电微机械超声波换能器应用于超声探测系统，其利用PMUT阵元先发送和接收第一频率超声波低频超声波信号，以探测远距离大范围内目标物，确定目标物的大致方位并向其靠近后，再发送和接收第二频率超声波高频超声波信号，以近距离探测该目标物的具体形貌，实现在增大探测距离的同时提高了近距离物体探测的分辨率。

主权项：1.一种压电微机械超声波换能器，其特征在于，包括形成于衬底上的PMUT阵元，所述PMUT阵元至少用于发送和接收第一频率超声波及第二频率超声波，其中，所述第一频率超声波的频率小于所述第二频率超声波的频率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 压电微机械超声波换能器及超声探测系统

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