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拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法 

申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司

申请日:2021-12-28

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN114232076B

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06;B08B5/02;C30B15/20

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.05.26#授权;2022.04.12#实质审查的生效;2022.03.25#公开

摘要:本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法,所述拉晶炉软轴清理装置包括:设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件;及设置于所述副室内腔的吹扫组件,所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔;其中所述吹扫组件包括:吹风头,其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面,用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面;送风管,与所述吹风头连通;及供风部件,与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法,可无需拆装软轴,对拉晶炉软轴进行自动吹扫,避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题,且可提升生产效率。

主权项:1.一种拉晶炉软轴清理装置,所述拉晶炉包括籽晶提拉软轴及副室,所述籽晶提拉软轴穿过所述副室内腔且能够在所述副室内沿所述籽晶提拉软轴的轴向升降;其特征在于,所述拉晶炉软轴清理装置包括:设置于所述副室内腔的支撑固定组件;及设置于所述副室内腔的吹扫组件,所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔;其中所述吹扫组件包括:吹风头,其吹风口朝向所述籽晶提拉软轴的外表面,用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面;送风管,与所述吹风头连通;及供风部件,与所述送风管连通;所述吹风头围绕于所述籽晶提拉软轴的周向外侧,且所述吹风头上设有多个所述吹风口,多个所述吹风口沿所述籽晶提拉软轴的周向分布;所述吹风头为锥形筒状,其自上而下内腔直径逐渐增大,所述籽晶提拉软轴穿设于所述吹风头的内腔,且所述吹风头的侧壁具有气体通道,所述气体通道与所述送风管和所述吹风口分别连通;所述支撑固定组件包括支撑板,所述支撑板固定于所述副室内腔,并将所述副室内腔分隔为上腔室和下腔室,所述支撑板上设有通孔,所述籽晶提拉软轴从该通孔穿过,且所述吹风头位于所述上腔室内,所述送风管从所述副室内腔穿出至所述副室外,且所述送风管与所述副室之间设有密封件;多个所述吹风口还沿所述籽晶提拉软轴的轴向依次间隔分布。

全文数据:

权利要求:

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