申请/专利权人：中科启迪光电子科技(广州)有限公司

申请日：2022-02-22

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN114578677B

主分类号：G04F5/14

分类号：G04F5/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2022.06.21#实质审查的生效;2022.06.03#公开

摘要：本申请公开了一种悬挂式芯片原子钟物理系统，支撑架安装在LCC底座中，U型框、气室支架、第二加热片和探测器自下而上依次设置在支撑架上，U型框中靠近第二加热片的方向上依次设置有激光器底座、垫高片、衰减片、14波片和第一加热片，VCSEL激光器和热敏电阻安装在激光器底座上，原子气室安装在气室支架中，吸气剂设置在U型框和气室支架外围，陶瓷管帽安装在吸气剂外围与LCC底座密封焊接。本发明提供的悬挂式芯片原子钟物理系统强度高、功耗较低、结构简单、生产成本低，为芯片原子钟的公众应用提供了坚实基础。

主权项：1.一种悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，包括LCC底座、支撑架、激光器底座、VCSEL激光器、热敏电阻、垫高片、U型框、衰减片、14波片、第一加热片、气室支架、原子气室、第二加热片、探测器、吸气剂和陶瓷管帽，所述支撑架安装在所述LCC底座中，所述U型框、所述气室支架、所述第二加热片和所述探测器自下而上依次设置在所述支撑架上，所述U型框中靠近所述第二加热片的方向上依次设置有所述激光器底座、所述垫高片、所述衰减片、所述14波片和所述第一加热片，所述VCSEL激光器和所述热敏电阻安装在所述激光器底座上，所述探测器正对所述VCSEL激光器的发射端，所述原子气室安装在所述气室支架中，所述吸气剂设置在所述U型框和所述气室支架外围，所述陶瓷管帽安装在所述吸气剂外围与所述LCC底座密封焊接；所述支撑架包括硅框，所述硅框的上表面贴有悬空的聚酰亚胺膜，硅框下表面为平面，所述U型框、所述气室支架、所述第二加热片和所述探测器自下而上依次设置在所述聚酰亚胺膜上；所述聚酰亚胺膜为光敏型聚酰亚胺；所述聚酰亚胺膜厚度为10μm；所述聚酰亚胺膜呈“井”字型，除中间部分外其余部分均镂空；所述支撑架的制作工艺为：以600μm双抛硅片为衬底，正面旋涂光敏PI并图形化、亚胺化，背面深硅刻蚀刻出硅环，使得所述聚酰亚胺膜在硅环上完整悬空。

全文数据：

权利要求：

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