申请/专利权人：卡尔蔡司耶拿有限公司

申请日：2021-07-05

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116194741A

主分类号：G01J3/04

分类号：G01J3/04

优先权：["20200716 DE 102020118822.6"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.05.30#公开

摘要：本发明涉及用于对电磁辐射进行光谱分析的光谱仪。光谱仪包括用于让待分析的电磁辐射射入的射入缝隙03和用于使射入的电磁辐射衍射的成像格栅。光谱仪还包括至少沿一个方向延伸的用于检测被衍射的电磁辐射的检测器以及承载板01，在承载板中布置有射入缝隙03。光谱仪还包括支承在承载板01上的壳体02，该壳体覆盖检测器和射入缝隙03并且承载成像格栅。根据本发明，光谱仪还包括用于使壳体02浮动支承在承载板01上的至少三个浮动轴承04、06、07，其中，浮动轴承04、07分别释放了壳体与承载板之间在一个方向轴线上的移动并且围绕壳体02的中轴线地分布。

主权项：1.用于对电磁辐射进行光谱分析的光谱仪，所述光谱仪包括：-用于让待分析的电磁辐射射入的射入缝隙03；-用于使射入的电磁辐射衍射的成像格栅；-至少沿一个方向延伸的用于检测被衍射的电磁辐射的检测器；-承载板01，在所述承载板中布置有所述射入缝隙03；-支承在所述承载板01上的壳体02，所述壳体覆盖所述检测器和所述射入缝隙03并且承载所述成像格栅；和-用于使所述壳体02浮动支承在所述承载板01上的至少三个浮动轴承04、06、07，其中，所述浮动轴承04、07分别释放了所述壳体02与所述承载板1之间在一个方向轴线08上的移动，并且其中，所述浮动轴承04、06、07围绕所述壳体02的中轴线地分布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司耶拿有限公司 具有承载板和壳体的光谱仪

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