申请/专利权人：芝浦机械株式会社

申请日：2021-07-21

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116194850A

主分类号：G05B19/18

分类号：G05B19/18

优先权：["20200728 JP 2020-127195"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：在加工机1中，X轴控制部33X在每个控制周期Tc，进行X轴机台9X的X方向上的位置的反馈控制。Z轴控制部33Z在每个控制周期Tc，取得Z轴机台9Z的Z方向的位置邻近的检测值，并基于该取得的检测值与目标位置的差算出第二偏差，控制Z轴驱动源23Z以缩小第二偏差。Z轴控制部33Z在每个控制周期Tc，取得X轴机台9的Z方向的位移即第一误差邻近的检测值，并基于第一误差的检测值增加或减少第二偏差，以通过Z轴机台9Z的Z方向的移动抵消起因于第一误差的工件103与工具101的Z方向的相对位置的误差的至少一部分。

主权项：1.一种加工机，具有：第一可动部，其支承工件或工具；第一引导件，其朝第一方向引导所述第一可动部；第一驱动源，其将所述第一可动部朝所述第一方向驱动；第一传感器，其输出信号，所述信号与所述第一可动部的所述第一方向上的位移即第一位移、和所述第一可动部的与所述第一方向正交的第二方向上的位移即第一误差对应；第二可动部，其支承所述工件或所述工具；第二引导件，其朝所述第二方向引导所述第二可动部；第二驱动源，其将所述第二可动部朝所述第二方向驱动；第二传感器，其输出与所述第二可动部的所述第二方向上的位移即第二位移对应的信号；控制装置，其根据包含与所述第一可动部及所述第二可动部的移动相关的指令的信息的程序控制所述第一驱动源及所述第二驱动源；所述控制装置具有：内插部，其基于所述程序的信息，算出所述第一可动部的所述第一方向上的规定的每个控制周期的第一目标位置、和所述第二可动部的所述第二方向上的每个所述控制周期的第二目标位置；第一控制部，其在每个所述控制周期，基于来自所述第一传感器的信号取得所述第一位移邻近的检测值，并基于该取得的检测值与所述第一目标位置的差算出第一偏差，控制所述第一驱动源以缩小所述第一偏差；第二控制部，其在每个所述控制周期，基于来自所述第二传感器的信号取得所述第二位移邻近的检测值，并基于该取得的检测值与所述第二目标位置的差算出第二偏差，控制所述第二驱动源以缩小所述第二偏差，所述第二控制部在每个所述控制周期，基于来自所述第一传感器的信号取得所述第一误差邻近的检测值，并基于所述第一误差的检测值增加或减少所述第二偏差，以通过所述第二可动部的所述第二方向的移动抵消起因于所述第一误差的所述工件与所述工具的所述第二方向上的相对位置的误差的至少一部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芝浦机械株式会社 加工机、加工系统及被加工物的制造方法

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