申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2023-02-02

公开（公告）日：2023-06-23

公开（公告）号：CN116288258A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.11#实质审查的生效;2023.06.23#公开

摘要：本发明公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。本发明的热丝系统能够保持镀膜工艺的稳定性并且提高系统使用的稳定性。

主权项：1.热丝系统，被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，其特征在于，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 热丝系统以及卧式HWCVD设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD