申请/专利权人：长沙壹纳光电材料有限公司

申请日：2022-09-09

公开（公告）日：2023-06-23

公开（公告）号：CN116288181A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/08;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/10;H10K71/00;H01L33/00;H10K59/12;H01L27/15

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.11#实质审查的生效;2023.06.23#公开

摘要：本发明公开了一种镧系金属掺杂IZO靶材及其制备方法与应用。本发明的镧系金属掺杂IZO靶材按照质量百分比计包括：Ln系金属氧化物0.5％～10％、氧化铟60％～87％和氧化锌5％～15％，所述Ln系金属选自镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥中的至少一种。本发明通过控制镧系金属掺杂IZO靶材中各成分的占比并结合化学共沉淀所制得的镧系金属掺杂IZO靶材具有致密性高、颜色均匀且溅射过程不易结瘤等优点，具有广泛的应用价值。

主权项：1.一种镧系金属掺杂IZO靶材，其特征在于，按照质量百分比计包括：Ln系金属氧化物0.5％～10％、氧化铟60％～87％和氧化锌5％～15％；所述Ln系金属氧化物中，Ln系金属选自镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥中的至少一种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长沙壹纳光电材料有限公司 一种镧系金属掺杂IZO靶材及其制备方法与应用

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