申请/专利权人：宁夏中晶半导体材料有限公司

申请日：2022-07-19

公开（公告）日：2023-11-03

公开（公告）号：CN115044965B

主分类号：C30B15/04

分类号：C30B15/04;C30B29/06;C30B27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.03#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.13#公开

摘要：本发明公开了一种用于CZ法拉晶的加掺装置及其使用方法，包括重锤和吊绳，所述吊绳安装于重锤的顶部，所述重锤的表面固定套设有套环，所述套环的表面固定连接有连杆，所述连杆的一端固定安装有加掺杯，所述加掺杯的内壁活动连接有硅片，所述加掺杯的底部固定连接有支撑架，所述支撑架表面分别活动套设有第一下料板和第二下料板，所述第一下料板的底部固定镶嵌有铁氧磁块，所述第二下料板的底部固定镶嵌有铁块。本发明具备加掺稳定的优点，解决了目前的加掺方法首先用时较长，耗费人工及电耗等生产成本，其次该方法加掺不稳定，结晶硅片受热容易炸裂，造成掺杂剂被氩气吹拂至炉筒内，无法有效补充掺杂剂的问题。

主权项：1.一种用于CZ法拉晶的加掺装置，包括重锤1和吊绳4，所述吊绳4安装于重锤1的顶部，其特征在于：所述重锤1的表面固定套设有套环2，所述套环2的表面固定连接有连杆3，所述连杆3的一端固定安装有加掺杯6，所述加掺杯6的内壁活动连接有硅片11，所述加掺杯6的底部固定连接有支撑架5，所述支撑架5表面分别活动套设有第一下料板7和第二下料板8，所述第一下料板7的底部固定镶嵌有铁氧磁块10，所述第二下料板8的底部固定镶嵌有铁块9；所述硅片11的底部分别与第一下料板7和第二下料板8的顶部活动连接；所述吊绳4的材料为钨丝，所述重锤1的材料为钼，所述套环2、连杆3、加掺杯6、支撑架5、第一下料板7和第二下料板8的材料均为石英；所述第一下料板7和第二下料板8相对的一侧活动连接，所述第一下料板7和第二下料板8的顶部与加掺杯6的底部活动连接；所述硅片11的厚度为0.3mm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁夏中晶半导体材料有限公司 一种用于CZ法拉晶的加掺装置及其使用方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD