申请/专利权人：明阳智慧能源集团股份公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2023-11-17

公开（公告）号：CN117070880A

主分类号：C23C8/36

分类号：C23C8/36;C25B1/04;C25B11/04;C25B11/069

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.05#实质审查的生效;2023.11.17#公开

摘要：本发明公开了一种基于PCVD制备电解水制氢部件氮化钛涂层的方法，该方法是利用PCVD装置结合管式炉，使用高纯氨气作为氮源，在等离子体作用下，氮源沉积在钛材表面原位反应生成致密、均一的氮化钛涂层，通过调节PCVD装置运行时间与功率，结合管式炉的程序控温系统，在显著降低反应活化能的同时，大幅简化氮化钛涂层的制备工艺，并降低了生产能耗。本发明对于增强PEMWE系统耐久性、降低设备成本以及降低材料制备过程能耗具有意义。

主权项：1.基于PCVD制备电解水制氢部件氮化钛涂层的方法，其特征在于：该方法是利用PCVD装置结合管式炉，使用高纯氨气作为氮源，在等离子体作用下，氮源沉积在钛材表面原位反应生成致密、均一的氮化钛涂层，通过调节PCVD装置运行时间与功率，结合管式炉的程序控温系统，在显著降低反应活化能的同时，大幅简化氮化钛涂层的制备工艺，并降低了生产能耗；其包括以下步骤：1钛材表面清洗：依次用丙酮、去离子水、稀酸、去离子水对钛材进行表面清洗，随后烘干待用；2管式炉运行准备：将烘干后的钛材放入管式炉内，开启气泵将管式炉内抽至真空，设定管式炉的升温速率、保持温度、保温时间，运行管式炉；3PCVD原位处理钛材生成氮化钛涂层：达到管式炉保持温度后通入高纯氨气，随后打开PCVD装置，设定工作功率以及工作时间，待PCVD装置达到设定时间自然降温后，关闭氨气输入阀门，通入预设时间惰性气体，随后取出产品，得到具有氮化钛涂层的钛材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 明阳智慧能源集团股份公司 基于PCVD制备电解水制氢部件氮化钛涂层的方法

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