申请/专利权人:上海擎茂微电子科技有限公司
申请日:2023-06-16
公开(公告)日:2023-11-21
公开(公告)号:CN220065710U
主分类号:H01L29/861
分类号:H01L29/861;H01L29/417
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.11.21#授权
摘要:本实用新型涉及一种低热阻低导通压降的FRD,包括衬底、位于衬底一侧的阳极、位于衬底另一侧的阴极,阳极表面设有阳极金属层,阴极表面设有阴极金属层,阳极或阴极的表面设有若干深槽,阳极金属层或阴极金属层延伸至深槽内,深槽的侧壁或底壁表面设有高掺杂区。本实用新型的低热阻低导通压降的FRD通过表面设置深槽,增大了散热面积,其散热效果较高,而且无需在器件外部再单独设置专用的散热装置,以减小其体积,便于其与IGBT的集成。
主权项:1.一种低热阻低导通压降的FRD,包括衬底1、位于衬底一侧的阳极2、位于衬底另一侧的阴极,阳极表面设有阳极金属层3,阴极表面设有阴极金属层,其特征在于:所述阳极的表面设有若干深槽4,所述阳极金属层延伸至深槽内,深槽的侧壁或底壁表面设有高掺杂区5。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海擎茂微电子科技有限公司 一种低热阻低导通压降的FRD
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