申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2023-11-24

公开（公告）号：CN117105636A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.12#实质审查的生效;2023.11.24#公开

摘要：本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种IGZO靶材的制备方法，该方法通过精细调控材料配比、球磨和砂磨工艺、适当的压力施加以及制备过程的优化，实现了高致密性和低曲翘度的IGZO靶材的制备。具体步骤包括将氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末和去离子水混合球磨，加入分散剂、消泡剂和去离子水进行砂磨，然后进行粉末造粒和烧结。优化的工艺参数包括材料的纯度和比表面积、球磨和砂磨的时间和条件、砂磨浆料的粒度、适度的压力施加和烧结温度及升温速率。该方法获得的IGZO靶材具有高的致密性和低的曲翘度，适用于各种应用领域，如显示器和薄膜晶体管等。

主权项：1.一种IGZO靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：步骤一：将氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末和去离子水混合，再进行球磨，得到球磨浆料；步骤二：将分散剂、消泡剂和去离子水加入到球磨浆料中，再进行砂磨，得到砂磨浆料；步骤三：将砂磨浆料进行粉末造粒，得到IGZO粉末；步骤四：将IGZO粉末装入顶部带有加压装置的模具中，然后将模具放入烧结炉中，在氧气气氛中进行烧结，烧结过程中在模具顶部施加5-20MPa的压力，烧结温度为1450℃-1550℃，升温速率为4-6℃min，得到IGZO靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种IGZO靶材的制备方法

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