申请/专利权人：天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司

申请日：2023-05-09

公开（公告）日：2023-11-24

公开（公告）号：CN220079261U

主分类号：C30B31/10

分类号：C30B31/10;C30B31/16;C30B31/18;H01L31/18;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.24#授权

摘要：本实用新型提供了一种扩散炉装置，包括外管、内管和至少一个出气组件，其中，外管具有第一进气孔，外界气源通过第一进气孔向外管的内部送气；内管至少一部分设置在外管的内部，内管与外管之间具有送气通道，内管的位于外管内部的部分的周向侧壁具有多个第二进气孔，内管的内部具有容纳空间；出气组件的一端位于容纳空间的内部，出气组件的另一端位于外管的外部并与外界连通，外界气源输送的气体依次经过第一进气孔、送气通道、第二进气孔进入到容纳空间，且容纳空间内的气体通过出气组件排出内管。本实用新型解决了现有技术中扩散炉内气体浓度分布不均匀的问题。

主权项：1.一种扩散炉装置，其特征在于，包括：外管10，所述外管10具有第一进气孔11，外界气源3通过所述第一进气孔11向所述外管10的内部送气；内管20，所述内管20至少一部分设置在所述外管10的内部，所述内管20与所述外管10之间具有送气通道30，所述内管20的位于所述外管10内部的部分的周向侧壁具有多个第二进气孔21，所述内管20的内部具有容纳空间22；至少一个出气组件40，所述出气组件40的一端位于所述容纳空间22的内部，所述出气组件40的另一端位于所述外管10的外部并与外界连通，所述外界气源3输送的气体依次经过所述第一进气孔11、所述送气通道30、所述第二进气孔21进入到所述容纳空间22，且所述容纳空间22内的气体通过所述出气组件40排出所述内管20。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司 浙江爱旭太阳能科技有限公司 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 扩散炉装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD