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【实用新型】扩散炉装置_天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司_202321103553.0 

申请/专利权人:天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司

申请日:2023-05-09

公开(公告)日:2023-11-24

公开(公告)号:CN220079261U

主分类号:C30B31/10

分类号:C30B31/10;C30B31/16;C30B31/18;H01L31/18;H01L21/67

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.11.24#授权

摘要:本实用新型提供了一种扩散炉装置,包括外管、内管和至少一个出气组件,其中,外管具有第一进气孔,外界气源通过第一进气孔向外管的内部送气;内管至少一部分设置在外管的内部,内管与外管之间具有送气通道,内管的位于外管内部的部分的周向侧壁具有多个第二进气孔,内管的内部具有容纳空间;出气组件的一端位于容纳空间的内部,出气组件的另一端位于外管的外部并与外界连通,外界气源输送的气体依次经过第一进气孔、送气通道、第二进气孔进入到容纳空间,且容纳空间内的气体通过出气组件排出内管。本实用新型解决了现有技术中扩散炉内气体浓度分布不均匀的问题。

主权项:1.一种扩散炉装置,其特征在于,包括:外管10,所述外管10具有第一进气孔11,外界气源3通过所述第一进气孔11向所述外管10的内部送气;内管20,所述内管20至少一部分设置在所述外管10的内部,所述内管20与所述外管10之间具有送气通道30,所述内管20的位于所述外管10内部的部分的周向侧壁具有多个第二进气孔21,所述内管20的内部具有容纳空间22;至少一个出气组件40,所述出气组件40的一端位于所述容纳空间22的内部,所述出气组件40的另一端位于所述外管10的外部并与外界连通,所述外界气源3输送的气体依次经过所述第一进气孔11、所述送气通道30、所述第二进气孔21进入到所述容纳空间22,且所述容纳空间22内的气体通过所述出气组件40排出所述内管20。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 扩散炉装置

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