申请/专利权人:安徽熙泰智能科技有限公司
申请日:2023-08-24
公开(公告)日:2023-12-05
公开(公告)号:CN117177635A
主分类号:H10K71/00
分类号:H10K71/00;C23C16/50;C23C16/46;C23C16/455;H10K59/12;H10K59/80
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开
摘要:本发明公开了一种提升TFE‑CVD载台维保效率的方法,在载台热传导液进口的位置接上气体接口,在载台出气口的位置接上容器;在载台上的镀膜工艺包括如下步骤:a对位;b加热;c稳定;d镀膜;e去静电;f取出,提升了维护保养的效率,降低人力的工时成本,降低了热传导液的损耗减少了载台内热传导液的残留、减少了热传导液在空气中暴露的时间,减少了热传导液蒸发和变质的数量,延长了其使用寿命,便于完成镀膜,提升设备稼动率和工厂产能。
主权项:1.一种提升TFE-CVD载台维保效率的方法,其特征在于,在载台热传导液进口的位置接上气体接口,在载台出气口的位置接上容器;在载台上的镀膜工艺包括如下步骤:a对位;b加热;c稳定;d镀膜;e去静电;f取出。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 安徽熙泰智能科技有限公司 一种提升TFE-CVD载台维保效率的方法
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