申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2018-11-20

公开（公告）日：2023-12-12

公开（公告）号：CN111434022B

主分类号：H02N13/00

分类号：H02N13/00;H01L21/683

优先权：["20171130 US 15/828,258"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.12#授权;2020.11.24#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：电源电路的RF隔离包括围绕成对线圈的一个或多个铁氧体笼，一个线圈连接到电源输入，另一个线圈连接到负载例如加热器。该铁氧体笼为线圈提供了通用的隔离，从而不需要特别调谐的滤波器或更复杂的线圈布置。成对的介电盘支撑相应的线圈。一方面，铁氧体笼由铁氧体片构成，这些铁氧体片从介电盘的中央部分呈扇形散开，并在介电盘的外围和介电盘的中央部分连接。一方面，扇形铁氧体片包括锰锌或镁锌铁氧体，连接扇形铁氧体片的铁氧体片包括镍锌铁氧体。

主权项：1.一种用于向还经受多个RF信号作用的等离子体处理室的部件提供隔离的功率的装置，所述多个RF信号至少包括具有第一RF频率的第一RF信号，所述装置包括：第一线圈和第二线圈；和围绕所述第一线圈和所述第二线圈的铁氧体笼，所述铁氧体笼包括：支撑所述第一线圈的第一介电盘；支撑所述第二线圈的第二介电盘；第一和第二多个铁氧体片，其设置在所述第一介电盘的背离所述第二介电盘的一侧上；第三和第四多个铁氧体片，其设置在所述第二介电盘的背离所述第一介电盘的一侧上；布置所述第一至第四多个铁氧体片，使得所述第一介电盘和所述第二介电盘以及所述第一线圈和第二线圈位于第一至第四多个铁氧体片的内部；第五多个铁氧体片，其用于将所述第一和第二多个铁氧体片中的相应的铁氧体片与所述第三和第四多个铁氧体片连接从而完成磁路；所述第五多个铁氧体片用于将所述第一和第二介电盘分开，使得所述第一和第二线圈间隔开预定距离；以及所述第一线圈用于接收输入电压信号，并且所述第二线圈用于提供隔离的功率信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 用于电源电路的铁笼射频隔离器

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