申请/专利权人：株洲火炬安泰新材料有限公司

申请日：2023-09-21

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN117285344A

主分类号：C04B35/453

分类号：C04B35/453;H01L29/786;C23C14/08;C23C14/34;C04B35/622;C04B35/636

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明公开了一种IGZO靶材及其制备方法，属于金属氧化物靶材料技术领域。该IGZO靶材包括如下原料：Ga2O3：18‑30％；ZnO：40‑55％；In2O3：15‑30％；Tb4O7：0.8‑2％；粘结剂：0.5‑1％；分散剂：0.5‑1％；将原料经过球磨混合、喷雾造粒、模压成型、素坯烧结，制得出IGZO靶材。本发明制得的IGZO靶材致密度高，其中最高可达99.5％，并且具有很高的稳定性，扩大了其应用领域，具有较高的产业利用价值。

主权项：1.一种IGZO靶材，其特征在于，按质量百分比计，包括如下原料：Ga2O3：18-30％；ZnO：40-55％；In2O3：15-30％；Tb4O7：0.8-2％；粘结剂：0.5-1％；分散剂：0.5-1％；上述粘结剂，通过如下步骤制备：将大豆分离蛋白加入去离子水中，超声分散，升温至80℃搅拌30min，降温至50℃，加入氨基功能化羧甲基纤维素水溶液，氮气氛围，搅拌，加入过硫酸铵溶液，反应2h，加入CaCl2溶液，搅拌30min，得到粘结剂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株洲火炬安泰新材料有限公司 一种IGZO靶材及其制备方法

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