申请/专利权人：苏州冠礼科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN117289727A

主分类号：G05D7/06

分类号：G05D7/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明涉及一种用于RCA制程的臭氧水流量控制系统及流体供应方法，该系统包括主管路恒定流量模组和支管路流量调节模组，主管路恒定流量模组的主供液管道进口端连接臭氧水系统，出口端连接液气分离器，主供液管道上装设有压力传感器、三通阀和压力控制阀，压力控制阀出气口连接压力传感器感应端，主供液管道通过三通阀连接支管路流量调节模组，液气分离器上连接有液体检测传感器，液气分离器出气口处装设有压力传感器五，出气口通过管道连接三通型气动阀门，三通型气动阀门两个出口分别连接常压排气和真空抽气管道，液气分离器出液口连接排液管道；本发明可避免臭氧系统由于主管路流量的波动无法稳定其臭氧浓度以及支管路波动对主管路的影响。

主权项：1.一种用于RCA制程的臭氧水流量控制系统，其特征在于：包括主管路恒定流量模组和支管路流量调节模组，其中，所述主管路恒定流量模组包括主供液管道1和液气分离器2，所述主供液管道1的进口端连接臭氧水系统3，所述主供液管道1的出口端连接液气分离器2，所述主供液管道1上依次装设有压力传感器4、三通阀和压力控制阀5，所述压力控制阀5的出气口通过管道连接压力传感器4的感应端，所述主供液管道1通过三通阀连接支管路流量调节模组，所述液气分离器2上连接有液体检测传感器6，所述液气分离器2的出气口处装设有压力传感器五7，所述液气分离器2的出气口通过管道连接三通型气动阀门8，所述三通型气动阀门8的两个出口分别连接常压排气管道和真空抽气管道，所述液气分离器2的出液口连接单向阀的进液端，单向阀的出液端连接排液管道；支管路流量调节模组包括支管路管道9，所述支管路管道9的进口端通过三通阀连接主供液管道1，所述支管路管道9的出口端分别连接压力控制阀一10和三通型气动阀门二11，所述压力控制阀一10与三通型气动阀门二11并联布置，且出口端均连接至液体分离器二12，所述压力控制阀一10的出气口通过管道连接压力传感器一13的感应端，所述三通型气动阀门二11的进口端的管道上装设有电动针阀一14和流量传感器一15，所述支管路流量调节模组通过电动针阀一14和流量传感器一15进行远程流量调节，所述三通型气动阀门二11的另一出口端为使用端出口；所述液体分离器二12上连接有液体检测传感器二16，所述液体分离器二12的出气口处装设有压力传感器二17，所述液体分离器二12的出气口通过管道连接三通型气动阀门四18，所述三通型气动阀门四18的两个出口分别连接常压排气管道和真空抽气管道，所述液体分离器二12的出液口连接单向阀二的进液端，所述单向阀二的出液端连接排液管道。

全文数据：

权利要求：

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