申请/专利权人：南开大学

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN117288796A

主分类号：G01N23/2251

分类号：G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明属于表面分析仪器技术领域，公开了一种线形高通量分析量测仪器、方法，配备有线状射线源，样品台系统，曲面型能量分析器，线状电子收集器，数据采集系统，实时监测装置、快速进样室、传输装置、超高真空和高真空系统、加热装置、及预留法兰接口。本发明通过线形分析器与射线源组合构型实现线形高通量检测，通过与线状电子源组合，可实现线性俄歇能谱的表征；通过与线状离子源组合，可实现低能离子散射谱的表征；通过线状射线源，曲面型能量分析器及线状电子收集器组合，可实现晶圆的线性XPS等表面分析。本发明与传统XPS等表面表征相比，可大幅缩短晶圆的检测时间，提升检测效率。

主权项：1.一种线形高通量分析量测仪器，其特征在于，通过线状X射线源照射样品实现单次XPS的线性区域表征，利用曲面型能量分析器和线状电子收集器高效采集电子，结合多个并行检测通道提高检测速度与准确性；该仪器设置多个曲面型能量分析器增加电子的信号强度，附带快速进样室并通过多级loadlock腔室实现快速气压差分降级，自动调控样品检测区域，并能在超高真空环境下实时监测样品位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南开大学 线形高通量电子/离子能谱表面分析、量测仪器和方法

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