申请/专利权人：海普瑞(常州)洁净系统科技有限公司

申请日：2023-11-23

公开（公告）日：2023-12-22

公开（公告）号：CN117267408A

主分类号：F16K7/17

分类号：F16K7/17;F16K27/02;F16K31/122;F16K31/60

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.09#授权;2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开

摘要：本发明涉及一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；阀体组件包括阀体；阀体包括主体和连接在主体后端的旁通端；主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部，分隔部的底部中央后端设有旁通孔，阀体还设有与旁通孔贯通的出液孔；旁通组件包括旁通隔膜片、阀杆螺母、阀杆、调节螺母和手轮；旁通隔膜片与阀杆前后传动连接，阀杆螺母螺纹旋合在阀杆的螺纹杆部上，再在阀杆向后露出阀杆螺母的螺纹杆部上旋合上调节螺母；阀杆与手轮连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母前后运动；阀杆螺母可拆卸的设置于阀体的旁通端内，且旁通隔膜片正对旁通孔。该阀门有效减少管路的排布且节省空间。

主权项：1.一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；阀体组件包括阀体（11）；阀体（11）包括呈方型的主体和连接在主体左端的出液端、连接在主体右端的进液端、连接在主体后端的旁通端；主体设有开口向上的圆形腔体，主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部（11-2），分隔部（11-2）的内部与进液端贯通，分隔部（11-2）将阀体（11）的主体的内腔分隔成与进液端贯通的进液腔体和与出液端贯通的出液腔体，从而分隔部（11-2）的内部空间即为进液腔体；分隔部（11-2）的底部中央后端设有旁通孔（h1），出液腔体的后部设有上下贯通且与旁通孔（h1）贯通的出液孔（h2）；阀体（11）的旁通端与主体连接处设有开口向后的由前向后渐大的三段状第一中央通孔，第一中央通孔的前段孔部与旁通孔（h1）、出液孔（h2）均贯通而使得旁通孔（h1）和出液孔（h2）贯通；旁通组件包括旁通隔膜片（31）、阀杆螺母（32）、阀杆（33）、调节螺母（34）和手轮（35）；旁通隔膜片（31）设有旁通孔（h1）的大小对应的堵部；阀杆螺母（32）设有第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹；阀杆（33）设有螺纹杆部，螺纹杆部具有与阀杆螺母（32）的第四中央通孔的后段内螺纹对应的外螺纹；旁通隔膜片（31）与阀杆（33）前后传动连接，阀杆螺母（32）由其第四中央通孔的后段内螺纹旋合在阀杆（33）的螺纹杆部上，再在阀杆（33）向后露出阀杆螺母（32）的螺纹杆部上旋合上调节螺母（34）；阀杆（33）与手轮（35）连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母（32）前后运动；阀杆螺母（32）可拆卸的设置于第一中央通孔的后段孔部内，且旁通隔膜片（31）由其堵部正对旁通孔（h1）。

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权利要求：

百度查询： 海普瑞(常州)洁净系统科技有限公司 用于半导体制造的零死水带旁通阀门

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