申请/专利权人：安徽工程大学

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2023-12-22

公开（公告）号：CN117265486A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/14;B22F3/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开

摘要：本发明公开了一种粉末冶金法制备FeCrAl靶材的方法，所述粉末冶金制备的FeCrAl靶材采用热等静压法制备而成，该方法包括以下制备步骤；步骤（1）、粉末准备以及惰性气体保护混粉：准备好纯度高的预制Fe粉、Cr粉、Al粉，按照目标靶材成分进行粉末配比，以及在惰性气体Ar下进行混粉；步骤（2）、包套焊接脱气：根据成型靶材尺寸设计制作包套，在热处理炉中高温下抽空包套。本发明通过采用粉末冶金中的热等静压法制备FeCrAl靶材，此方法相比于现有技术可以获得很高的致密度、晶粒细小、纯度高、靶材尺寸大的溅射靶材，以满足溅射的使用，由于磁控溅射所使用的靶材使用性能要求最重要就是纯度问题，本发明采用热等静压法制备的靶材可以很好的满足使用。

主权项：1.一种粉末冶金法制备FeCrAl靶材的方法，其特征在于：所述粉末冶金制备的FeCrAl靶材采用热等静压法制备而成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工程大学 一种粉末冶金法制备FeCrAl靶材的方法

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