申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2023-09-18

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN117308816A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G01B9/02001;G01B9/02015;G01B9/02017

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本发明公开了一种大口径高纵深的白光干涉测量装置及方法，所述装置包括：白光照明单元，用于产生测量所需的白光；参考光路，用于产生干涉所需的参考光；测试光路，用于产生包含待测物件信息的测试光；干涉成像单元，用于接收白光干涉条纹信息，并对待测物体进行成像；位移检测单元，用于检测白光干涉测量装置的扫描位置；整体装置能沿竖直方向进行上下推扫，实现对待测物体表面形貌不同高度位置进行干涉条纹成像。本发明能实现对大口径高纵深物体形貌的精确测量。

主权项：1.一种大口径高纵深的白光干涉测量装置，其特征在于，所述装置包括：白光照明单元11，用于产生测量所需的白光；参考光路12，用于产生干涉所需的参考光；测试光路13，用于产生包含待测物件信息的测试光；干涉成像单元14，用于接收白光干涉条纹信息，并对待测物体进行成像；位移检测单元15，用于检测白光干涉测量装置的扫描位置；整体装置能沿竖直方向进行上下推扫，实现对待测物体表面形貌不同高度位置进行干涉条纹成像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种大口径高纵深的白光干涉测量装置及方法

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