申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2016-09-20

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN111654242B

主分类号：H02S50/10

分类号：H02S50/10;G01N21/95;G01N21/892;G01N21/88;H02S50/15

优先权：["20151026 SG 10201508830P"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.29#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.11#公开

摘要：一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统，所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状，所述豁口缺陷检测系统包括：a多个成像装置，所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且水平地定位成使得所述成像装置的聚焦平面平行于所述太阳能晶片的倒角边缘；b多个照明装置，所述多个照明装置用于当所述成像装置在操作中时为所述成像装置提供光；c传送带，所述传送带用于在豁口检测操作过程中水平地运输所述太阳能晶片；d感测装置，所述感测装置提供信号以触发所述成像装置来开始图像捕获；和e频闪灯驱动器，所述频闪灯驱动器由所述成像装置触发以驱动所述照明装置，使得所述成像装置提供与所述照明装置一致的曝光时间，由此所述倒角边缘位于处在正由所述感测装置感测的相同位置处的失焦位置处，并且由所述成像装置捕获的图像不清晰是在所述太阳能晶片的所述倒角边缘上有豁口。本发明还披露了一种检测太阳能晶片上的豁口缺陷的方法。

主权项：1.一种豁口检测系统，包括：传送带，所述传送带被配置成运输晶片；和多个照相机，所述多个照相机用于对所述晶片的倒角边缘进行成像，所述多个照相机被定位成使得当在所述传送带上运输所述晶片时，每个照相机的聚焦平面与所述晶片的至少一个倒角边缘平行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 检测太阳能晶片上的豁口的方法和系统

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