申请/专利权人：哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-01-02

公开（公告）号：CN117330216A

主分类号：G01L1/22

分类号：G01L1/22;G01L5/00;B81C1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.19#实质审查的生效;2024.01.02#公开

摘要：本发明涉及一种具有仿芦竹叶微结构的的柔性压力传感器及其制备方法，该传感器由上保护层、敏感微结构层以及下电极层三部分组成。敏感微结构层下表面分布有平行微槽，微槽侧壁面具有次级微棱结构；下电极层的上表面具有平行微突脊，且平行微突脊与敏感微结构层下表面的平行微槽一一对应并互相接触，构成导电通路。制备时，敏感微结构层下表面和下电极层上表面相互配合封装，并在敏感微结构层上表面覆盖上保护层进行封装保护。本发明中的传感器能够在提高灵敏度的同时拓宽线性检测范围，而且具备工艺简单、成本低、易控制等优点。

主权项：1.一种具有仿芦竹叶微结构的柔性压力传感器，其特征在于，包括上保护层100、下电极层300，以及设置在上保护层100和下电极层300之间的敏感微结构层200，敏感微结构层200与下电极层300相接触构成导通电路；所述敏感微结构层200的下表面设有多条平行微槽210，平行微槽210均布在敏感微结构层200表面并贯穿整个敏感微结构层200，平行微槽210的横截面为“V”字形，其两侧壁面形成的夹角为锐角；每条平行微槽210侧壁面均设置有多个次级微棱结构220，次级微棱结构220横截面形状为倒“V”字形，且顶端夹角为锐角；所述下电极层300由微结构叉指电极310和柔性基底320组成，微结构叉指电极310设置在柔性基底320上；所述下电极层300的上表面具有平行微突脊，所述敏感微结构层200下表面的多个平行微槽210分别与所述多个平行微突脊的位置对应并互相接触，构成导电通路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院) 一种具有仿芦竹叶微结构的柔性压力传感器及其制备方法

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