申请/专利权人：华灿光电(苏州)有限公司

申请日：2023-07-31

公开（公告）日：2024-01-09

公开（公告）号：CN117373989A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L33/00;C23C16/458;C30B25/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.26#实质审查的生效;2024.01.09#公开

摘要：本公开提供了一种具有匀热功能的行星盘及石墨托盘，属于半导体制备技术领域。该行星盘包括：圆盘件和圆环件；圆盘件包括基盘和支撑盘，基盘与支撑盘同轴相连，且基盘的外径大于支撑盘的外径；圆环件包括限位环和装配环，限位环与装配环同轴相连，限位环的内壁具有多个缺口，多个缺口沿限位环的内壁周向间隔排布。本公开能够有效的提高衬底的受热均匀性，进而保证了制备出的外延片的片内波长均匀性。

主权项：1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件10和圆环件20；所述圆盘件10包括基盘110和支撑盘120，所述基盘110与所述支撑盘120同轴相连，且所述基盘110的外径大于所述支撑盘120的外径；所述圆环件20包括限位环210和装配环220，所述限位环210与所述装配环220同轴相连，所述限位环210的内壁具有多个缺口211，多个所述缺口211沿所述限位环210的内壁周向间隔排布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华灿光电(苏州)有限公司 具有匀热功能的行星盘及石墨托盘

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