申请/专利权人：内蒙古润阳悦达新能源科技有限公司

申请日：2023-06-27

公开（公告）日：2024-01-09

公开（公告）号：CN220309769U

主分类号：B01D3/14

分类号：B01D3/14;C01B33/107;C01B33/035;B01J19/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.09#授权

摘要：本申请涉及一种还原尾气深化循环回收系统，尾气回收系统的出口与精细分离塔的进口相连，精细分离塔的塔顶出口与除硼装置的进口相连，除硼装置的出口与原料储罐的二硅进口相连，精细分离塔的塔上侧出口与原料储罐的三硅进口相连，精细分离塔的塔顶出口和精细分离塔的塔下侧出口均与反歧化器的四硅进口相连，反歧化器的出口与精细分离塔的进口相连。通过还原尾气回收分离提纯得到的二氯二氢硅代替现有技术中外购而来的二氯二氢硅，且还原工艺用原料中杂质含量低，无需外购二氯二氢硅，有利于降低多晶硅生产成本，还能够避免发生安全事故的问题。且将剩余的部分二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应，实现多晶硅生产过程中物尽其用。

主权项：1.一种还原尾气深化循环回收系统，其特征在于，包括尾气回收系统（100）、精细分离塔（200）、除硼装置（300）、反歧化器（400）、原料储罐（500）和控制装置，所述尾气回收系统（100）的氯硅烷出口与所述精细分离塔（200）的进口相连，所述精细分离塔（200）的塔顶出口与所述除硼装置（300）的进口相连，所述除硼装置（300）的出口与所述原料储罐（500）的二硅进口相连，且所述原料储罐（500）的二硅进口设置有第一流量阀，所述精细分离塔（200）的塔上侧出口与所述原料储罐（500）的三硅进口相连，且所述原料储罐（500）的三硅进口设置有第二流量阀，所述第一流量阀和所述第二流量阀均与所述控制装置电连接，所述精细分离塔（200）的塔顶出口还与所述反歧化器（400）的二硅进口相连，所述精细分离塔（200）的塔下侧出口与所述反歧化器（400）的四硅进口相连，所述反歧化器（400）的出口与所述精细分离塔（200）的进口相连。

全文数据：

权利要求：

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