申请/专利权人：漳州思美科新材料有限公司

申请日：2021-08-30

公开（公告）日：2024-01-16

公开（公告）号：CN113774382B

主分类号：C23F1/18

分类号：C23F1/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.16#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开

摘要：本发明公开一种CuNi‑Al‑Mo蚀刻液，包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％‑40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％‑3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％‑0.3wt％，其余为水。本发明可有效降低CuNi金属层的蚀刻速率及侧向蚀刻造成的CDLoss，能同时满足最上层的CuNi金属层图案不被过蚀刻。

主权项：1.一种CuNi-Al-Mo蚀刻液，其特征在于包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％-40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％-3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％-0.3wt％，其余为水；所述助剂为选自氨基三亚甲基膦酸、2-羟基膦酰基乙酸、乙二胺四甲叉膦酸、苯并三氮唑钠、苯并三氮唑和葡萄糖酸钠的一种或两种以上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 漳州思美科新材料有限公司 一种CuNi-Al-Mo蚀刻液

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