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申请/专利权人：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
申请日：2018-06-29
公开（公告）日：2024-01-19
公开（公告）号：CN112955996B
主分类号：H01J37/26
分类号：H01J37/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.01.19#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.11#公开
摘要：本发明公开了一种利用从扫描电子显微镜SEM图像中提取的形貌信息来确定原子力显微镜AFM图像在样品上每个采样点或每个区域的扫描速度的方法。该方法包括对扫描电镜图像进行处理，提取可能的形貌特征并生成特征度量图，将特征度量图转换为AFM扫描速度图，并根据扫描速度图进行AFM扫描。该方法可使AFM扫描在形貌特征较少的区域具有较高的扫描速度，而在形貌特征丰富的区域具有较低的扫描速度。
主权项：1.一种扫描速度动态变化的SEM引导的AFM形貌扫描方法,根据SEM图像中提取的在前形貌信息，在每个采样点改变AFM成像扫描速度,其特征在于，包括：a利用图像处理算法生成特征度量图，所述图像处理算法用于从SEM图像中识别和定位形貌特征，其中生成特征度量图的算法是基于在SEM图像中检测快速变化的灰度像素，所述特征度量图定量描述了局部形貌特征的数量，并区分了SEM图像中包含特征的区域和缺少特征的区域；b将所述特征度量图转换为AFM扫描速度图，通过映射函数将所述特征度量图转换为AFM扫描速度图，映射原则是在特征度量值较低的缺乏特征区域中设置较高的扫描速度，并在特征度量值较高的丰富特征区域设置较低的扫描速度；c基于AFM扫描速度图为每个采样点设置扫描速度，对样品上具有最小形貌特征的位置使用较高扫描速度，对样品上具有丰富形貌特征的位置使用较低扫描速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 扫描速度动态变化的SEM引导的AFM形貌扫描方法
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