申请/专利权人：苏州博宏源机械制造有限公司

申请日：2023-11-08

公开（公告）日：2024-01-23

公开（公告）号：CN117207069B

主分类号：B24B53/02

分类号：B24B53/02;B24B55/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权;2023.12.29#实质审查的生效;2023.12.12#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆抛光盘面型修正装置及方法，其包括：上抛盘，其下方同圆心的转动设置有下抛盘，所述上抛盘通过加压浮动单元转动架空在下抛盘上方，所述下抛盘采用内嵌式轴杆旋转驱动，所述下抛盘外同轴转动设置有外齿座，所述下抛盘的内转动设置有太阳轮，所述外齿座内周向等距分布有多个修正组件，所述修正组件与所述太阳轮相啮合传动，并绕下抛盘的轴线作行星运动；所述上抛盘上外设有环架，所述环架上方通过多个支杆固定有接液环，所述接液环设有管路，且所述接液环还设有多个接口，所述接口与下液管相连接，所述下液管的一端穿接在环架上。

主权项：1.一种晶圆抛光盘面型修正装置，其特征在于：其包括：上抛盘（1），其下方同圆心转动设置有下抛盘（2），所述上抛盘（1）通过加压浮动单元转动架空在下抛盘（2）上方，所述下抛盘（2）采用内嵌式轴杆旋转驱动，所述下抛盘（2）外同轴转动设置有外齿座（11），所述下抛盘（2）内转动设置有太阳轮（12），所述外齿座（11）内周向等距分布有多个修正组件（3），所述修正组件（3）与所述太阳轮（12）相啮合传动，并绕下抛盘（2）的轴线作行星运动；所述上抛盘（1）上外设有环架（13），所述环架（13）上方通过多个支杆（15）固定有接液环（14），所述接液环（14）设有管路（17），且所述接液环（14）还设有多个接口，所述接口与下液管（16）相连接，所述下液管（16）的一端穿接在环架（13）上；所述修正组件（3）包括：载体（31），其外部套设有齿环（32），所述齿环（32）与太阳轮（12）以及外齿座（11）相啮合传动，所述载体（31）上下对称分布有多个修正机构（4），各所述修正机构（4）的修正面均超出上抛盘（1）、下抛盘（2）的内外圆边沿，所述载体（31）的中部嵌入固定有轴筒（34），所述轴筒（34）内上下对称设置有两个内腔，所述内腔内滑动设置有柱塞杆（36），所述柱塞杆（36）的端部通过支撑弹簧连接有半包座，所述半包座内滚动设置有球轴（33），所述内腔的一侧均连接有气压管（35），所述载体（31）内设置有微型气泵，所述微型气泵的一端与所述气压管（35）相连通；所述修正机构（4）包括：推送缸（41），其固定在载体（31）内，所述载体（31）上位于推送缸（41）的轴向位置嵌入固定有连接座（43），所述连接座（43）内滑动设置有密封杆（42），所述密封杆（42）的一端密封滑动在推送缸（41）中，所述密封杆（42）的另一端固定有砂轮（44），所述推送缸（41）的下端连接有液压管（45）。

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