申请/专利权人：嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心;浙江中科应用技术研究院

申请日：2023-11-17

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN117448788A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.01.26#公开

摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及钙钛矿样品承载装置。本申请实施例提供了一种钙钛矿样品承载装置，该装置设置在原子层沉积设备的反应腔中，用于安装钙钛矿样品。该装置包括载物托盘和进气机构，载物托盘用于承载钙钛矿样品，钙钛矿样品放置于载物托盘的上表面，进气机构用于通入气体。载物托盘具有内腔，且载物托盘的上表面设有多个出气孔，载物托盘的侧面设有输气孔，出气孔和输气孔与内腔连通；进气机构与输气孔连通，以将气体通入内腔中，气体再由出气孔喷出，以在载物托盘的上表面形成气膜。

主权项：1.一种钙钛矿样品承载装置，所述支架设置在反应腔中，其特征在于，所述支架包括：载物托盘，用于承载所述钙钛矿样品，所述载物托盘具有内腔，且所述载物托盘的上表面设有多个出气孔，所述载物托盘的侧面设有输气孔，所述出气孔和所述输气孔与所述内腔连通；进气机构，用于通入气体，所述进气机构与所述输气孔连通，以将所述气体通入所述内腔中，所述气体再由所述出气孔喷出，以在所述载物托盘的上表面形成气膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心;浙江中科应用技术研究院 一种钙钛矿样品承载装置

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