申请/专利权人：深圳大学

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-02-02

公开（公告）号：CN117497617A

主分类号：H01L31/0232

分类号：H01L31/0232;H01L31/18;H01L31/108

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于石墨烯的微环谐振腔恰耦合态光电探测器及其制备方法，其中，包括：衬底，设置在所述衬底的表面的绝缘层；形成在所述绝缘层上的脊状直波导；分别形成在所述脊状直波导两端的两个光栅耦合器；形成于所述脊状直波导一侧的脊状微环波导；所述脊状微环波导与所述脊状直波导构成处于恰耦合状态的微环谐振腔；搭设在所述脊状微环波导上的石墨烯层，两个电极，所述两个电极分别设置在所述脊状微环波导内部与外部的石墨烯层上。本发明利用微环谐振腔的结构简单、尺寸紧凑、恰耦合状态时谐振腔内的光场增强等特点，增强石墨烯与光的相互作用，进而提高内量子效率。

主权项：1.一种基于石墨烯的微环谐振腔恰耦合态光电探测器，其特征在于，包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层设置在所述衬底的表面；脊状直波导，所述脊状直波导形成在所述绝缘层上；两个光栅耦合器，所述两个光栅耦合器分别形成在所述脊状直波导的两端；脊状微环波导，所述脊状微环波导形成于所述脊状直波导的一侧；所述脊状微环波导与所述脊状直波导构成处于恰耦合状态的微环谐振腔；石墨烯层，所述石墨烯层搭设在所述脊状微环波导上，部分石墨烯层位于所述脊状微环波导内部，另一部分位于所述脊状微环波导外部；两个电极，所述两个电极分别设置在所述脊状微环波导内部与外部的石墨烯层上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳大学 基于石墨烯的微环谐振腔恰耦合态光电探测器及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD