申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2023-10-30

公开（公告）日：2024-02-06

公开（公告）号：CN117512539A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.27#实质审查的生效;2024.02.06#公开

摘要：本发明属于涂层领域，具体涉及一种硬质耐磨TaNMoS2复合涂层及其制备方法。本发明以Ta靶和MoS2靶作为靶材，N2为反应气体，氩气为溅射气体，通过直流磁控溅射靶材，在基底上获得TaNMoS2复合涂层；采用40sccm的总流量，固定氮气流量4sccm，氩气流量36sccm。通过改变MoS2靶材功率改变Mo原子的固溶度和MoS2含量，通过固溶强化效果增强和晶界强化实现涂层硬度和韧性的提高，同时良好的机械性能和MoS2强共价键与弱范德华键结合的特殊结构使涂层摩擦学性能得到提升。

主权项：1.一种硬质耐磨TaNMoS2复合涂层的制备方法，其特征在于，以Ta靶和MoS2靶作为靶材，N2为反应气体，氩气为溅射气体，通过直流磁控溅射靶材，在基底上获得TaNMoS2复合涂层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种硬质耐磨TaN/MoS₂复合涂层及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD