申请/专利权人：FEI 公司

申请日：2023-08-08

公开（公告）日：2024-02-09

公开（公告）号：CN117542712A

主分类号：H01J37/153

分类号：H01J37/153;G01Q30/02;G01Q30/06;H01J37/28

优先权：["20220808 US 17/883488"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.02.09#公开

摘要：本发明涉及用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的球面像差的紧凑型校正器，根据本公开，强六极被配置成当向其施加电压时产生强六极场，并且弱六极被定位在该强六极与样品之间。该强六极被定位成使得带电粒子系统的带电粒子束的交叉点不穿过该强六极的中心，使得该强六极场将至少A2像差和D4像差施加到该带电粒子束。该弱六极被进一步定位或以其他方式配置成使得当电压施加到该弱六极上时，其产生弱六极场，该弱六极场将至少组合A2像差和组合D4像差施加到该带电粒子显微镜系统的该带电粒子束。

主权项：1.一种用于带电粒子显微镜系统的紧凑型校正器模块，所述校正器模块包括：强多极，所述强多极被配置成当第一电压施加到其上时产生强多极场，其中所述强多极被定位成使得带电粒子系统的带电粒子束的交叉点不穿过所述强多极的中心，从而使得所述强多极场将至少A2像差和D4像差施加到所述带电粒子显微镜系统的带电粒子束；和弱多极，当所述校正器模块被用于所述带电粒子显微镜系统中时，所述弱多极被定位在所述强多极与样品之间，其中当第二电压施加到所述弱多极时其产生弱多极场，所述弱多极场将至少组合A2像差和组合D4像差施加到所述带电粒子显微镜系统的所述带电粒子束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI 公司 用于SEM的简单球面像差校正器

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