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【实用新型】一种防热量散失还原炉_昆明汇泉高纯半导材料有限公司_202321794108.3 

申请/专利权人:昆明汇泉高纯半导材料有限公司

申请日:2023-07-10

公开(公告)日:2024-02-09

公开(公告)号:CN220468252U

主分类号:C30B29/08

分类号:C30B29/08;C22B41/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.02.09#授权

摘要:本实用新型公开了一种防热量散失还原炉,包括底座、外炉体和固定板,所述底座的上方设置有外炉体,且外炉体的外壁和固定板相连接;还包括:横板,其安装在固定板的顶端,横板的底部通过螺栓固定有液压缸,且液压缸的输出端和固定杆相连接,并且固定杆的外表面设置有顶盖;安装板,其安装在所述固定杆的底端;坩埚,其设置于所述外炉体的内部。该防热量散失的还原炉,外炉体的内部设置有内炉体,且内炉体的外表面和外炉体的内表面相贴合,并且内炉体为硅酸盐材质,而内炉体的内侧设置有坩埚,这样可以通过内炉体对坩埚进行保温,有效减少锗单晶加工时热量的流失,提高锗单晶的加工效果,也减少了能源的浪费。

主权项:1.一种防热量散失还原炉,包括底座(1)、外炉体(2)和固定板(3),所述底座(1)的上方设置有外炉体(2),且外炉体(2)的外壁和固定板(3)相连接;其特征在于,还包括:横板(4),其安装在所述固定板(3)的顶端,所述横板(4)的底部通过螺栓固定有液压缸(5),且液压缸(5)的输出端和固定杆(6)相连接,并且固定杆(6)的外表面设置有顶盖(7);安装板(8),其安装在所述固定杆(6)的底端;坩埚(11),其设置于所述外炉体(2)的内部,所述外炉体(2)和坩埚(11)之间设置有内炉体(12),且内炉体(12)的底部安装有电加热管(13);驱动电机(14),其安装在所述外炉体(2)的内部,所述驱动电机(14)的输出端和转轴(15)相连接,且转轴(15)的顶端和坩埚(11)相固定。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 一种防热量散失还原炉

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