申请/专利权人：兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN117555127A

主分类号：G02B26/06

分类号：G02B26/06;G03F1/84

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开了一种可变相位光学组件、光罩的相位差测量装置，属于半导体光罩技术领域，包括：第一光学零件，用于使第一光束垂直入射至第一光学零件的第一平面，并从第一光学零件的第二平面折射出射；相位零件，用于使从第二平面折射出射的第一光束折射入射至相位零件的第三平面，并从相位零件的第四平面折射出射；第二光学零件，用于使从第四平面折射出射的第一光束折射入射至第三光学零件的第五平面，并从第三光学零件的第六平面垂直出射；所述相位零件能够沿X轴向移动；所述第一光束在第六平面的出射位置始终不变。本发明解决了可变相位光学组件加工难和加工误差容易导致测量误差的问题。

主权项：1.一种可变相位光学组件，其特征在于，包括：第一光学零件，用于使第一光束垂直入射至第一光学零件的第一平面，并通过第一光学零件的内部介质后，从第一光学零件的第二平面折射出射；相位零件，用于使从第二平面折射出射的第一光束折射入射至相位零件的第三平面，并通过相位零件的内部介质后，从相位零件的第四平面折射出射；第二光学零件，用于使从第四平面折射出射的第一光束折射入射至第二光学零件的第五平面，并通过第二光学零件的内部介质后，从第二光学零件的第六平面垂直出射；所述相位零件能够沿X轴向移动；所述第一光束在第六平面的出射位置始终不变。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司 可变相位光学组件、光罩的相位差测量装置

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