申请/专利权人：四川高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司

申请日：2023-11-15

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117604615A

主分类号：C30B15/20

分类号：C30B15/20;C30B29/06;C30B15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明公开了一种用于获取坩埚内硅液与炉台相对位置的方法及系统，包括以下步骤：将核定重量的硅料加入坩埚后，通过炉台工控机获取硅料的总剩料量；根据硅料的总剩料量，得到硅液在坩埚R角上方的高度；根据硅液在坩埚R角上方的高度，得到加完核定重量的硅料后硅液总高度；获取炉台的发热区高度，并通过炉台工控机获取坩埚的位置；根据发热区高度、坩埚的位置以及硅液总高度，得到坩埚内硅液与炉体的相对位置。本发明用于解决现有技术由于无法准确获取到硅料在炉体内的位置情况，导致工艺参数设定不准确的技术问题，从而达到通过准确设定工艺参数，延长坩埚使用寿命的目的。

主权项：1.一种用于获取坩埚内硅液与炉台相对位置的方法，其特征在于，包括以下步骤：将核定重量的硅料加入坩埚后，通过炉台工控机获取硅料的总剩料量；根据所述硅料的总剩料量，得到硅液在坩埚R角上方的高度；根据所述硅液在坩埚R角上方的高度，得到加完所述核定重量的硅料后硅液总高度；获取炉台的发热区高度，并通过所述炉台工控机获取所述坩埚的位置；根据所述发热区高度、所述坩埚的位置以及所述硅液总高度，得到所述坩埚内硅液与炉体的相对位置。

全文数据：

权利要求：

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