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【发明授权】一种CrAlMeN-CrAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途_厦门钨业股份有限公司;厦门金鹭特种合金有限公司_202210026026.8 

申请/专利权人:厦门钨业股份有限公司;厦门金鹭特种合金有限公司

申请日:2022-01-11

公开(公告)日:2024-03-01

公开(公告)号:CN114381690B

主分类号:C23C14/06

分类号:C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.01#授权;2022.05.10#实质审查的生效;2022.04.22#公开

摘要:本发明涉及一种CrAlMeN‑CrAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途,所述涂层为依次沉积的周期性涂层单元,所述周期性涂层单元包括CrAlMeN层、CrAlN层和两层过渡层,其中一层过渡层设置在所述CrAlMeN层和CrAlN层之间;所述CrAlMeN层中Me包括Zr、Hf、V、Ta、Nb、Ti、W、Mn、Mo或Si中的任意一种或至少两种组合;所述过渡层的化学式为Crx2Aly2Me1‑x2‑y2N,其中0.25≤x2≤0.45,0.5≤y2≤0.75,0.01≤1‑x2‑y2≤0.1。所述纳米多层结构涂层具有优异的超硬性、强韧性、结合强度高、抗开裂、耐腐蚀和耐氧化等性能。

主权项:1.一种CrAlMeN-CrAlN纳米多层结构涂层,其特征在于,所述涂层为依次沉积的周期性涂层单元,所述周期性涂层单元包括CrAlMeN层、CrAlN层和两层过渡层,其中一层过渡层设置在所述CrAlMeN层和CrAlN层之间;所述CrAlMeN层中Me包括Zr、Hf、V、Ta、Nb、Ti、W、Mn、Mo或Si中的任意一种或至少两种组合;所述过渡层的化学式为Crx2Aly2Me1-x2-y2N,其中0.25≤x2≤0.45,0.5≤y2≤0.75,0.01≤1-x2-y2≤0.1;所述周期性涂层单元的厚度为6-30nm,所述过渡层厚度占周期性涂层单元厚度的3-10%。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 厦门钨业股份有限公司;厦门金鹭特种合金有限公司 一种CrAlMeN-CrAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途

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